推荐一些超精密加工技术相关的论文
　　超精密加工技术相关论文涵盖光学元件加工、硬脆材料处理、智能化补偿、跨学科创新等多个热门方向，既有聚焦技术突破的实验研究，也有梳理行业进展的综述文献，以下从国内期刊论文、国际期刊论文及前沿交叉领域论文三个类别为你推荐，具体如下：
　　1.国内期刊论文
　　1.《硬脆材料超精密磨削技术研究进展综述》：发表于《广东工业大学学报》，作者夏江南、阎秋生等人。作为综述类论文，其系统梳理了硬脆材料超精密磨削技术的研究现状，详细介绍了自旋转磨削、双面磨削和磨抛一体化三种核心磨削方法的原理与对应机床设备，还阐述了超硬磨粒砂轮的制备、磨损检测及修整技术的进展。同时从实验和仿真角度深入分析硬脆材料磨削机理，总结了表面质量与面形精度的控制方法，对该领域后续研究方向具有明确的指导意义。
　　2.《超精密非球面两轴控制单点金刚石车削与补偿技术（特邀）》：刊登于《红外与激光工程》。针对单点金刚石车削中传统z向补偿不准和刀尖圆弧半径过切的行业痛点，提出了法向残余误差建模与刀尖半径偏置轨迹补偿相结合的方法。通过x-z两轴联动控制，对凹/凸镀镍非球面模具加工实验，经补偿后面形精度分别提升至PV 62.6nm与PV 52.9nm，为光学非球面超精密加工提供了高效的误差解决方案。
　　3.《微透镜阵列单点金刚石车削补偿技术》：作者王之岳、陈灶灶等。论文将微透镜阵列加工等效为自由曲面加工，建立单点金刚石慢刀伺服切削模型，结合刀具倾斜角和机床时延模型预测加工误差。通过原位测量获取实际误差并预补偿到加工程序后，微透镜阵列的PV值从5.4μm降至0.6μm，大幅提升了加工精度与一致性，对微光学元件批量超精密加工具有重要参考价值。
　　2.国际期刊论文
　　1.《Advancements in ultraprecision machining for precision engineering》：2025年发表于AIP Conference Proceedings，作者Ginni Nijhawan等人。该论文通过对铝、黄铜、铜等多种材料的超精密加工实验，得出一系列突破性数据，如铝材表面粗糙度Ra值降低73.3%，硬质合金刀具磨损率下降75%，铜等材料加工时间缩短66.7%。其研究成果直观展现了超精密加工技术对提升制造精度和效率的革命性作用，为现代制造业的精度标准制定提供了实验支撑。
　　2.《Spatial grain orientation induced structural coloration anisotropy of the micro V-shaped metal arrays for metallurgical structure characterizing》：发表于《Advanced Functional Materials》，由哈工大宗文俊教授团队撰写。论文提出超精密切削V形槽微光栅结构的创新方法，利用金属晶粒各向异性力学性能使微结构产生差异化变形，进而形成可观测的结构色，实现多晶金属金相组织的高效表征。该方法无需化学腐蚀，制样仅需数分钟，观测分辨率优于5微米，是超精密加工与材料表征交叉领域的重要成果。
　　3.前沿技术与交叉领域论文
　　1.《超精密微小型车铣复合加工机床的空间误差建模与灵敏度分析》：作者郑中鹏、金鑫等。以自主研发的超精密微小型车铣复合加工机床为研究对象，识别出机床57项空间几何误差，基于多体系统理论建立误差模型，并通过灵敏度分析找出影响加工精度的关键因素。其研究成果可直接用于指导超精密机床的结构设计与优化，对提升微小型复杂零件加工精度意义重大。
　　2.《光学非球面超精密切削的在位测量及补偿加工》：张亮、郭曦鹏等人撰写的该论文，开发了接触式测头与电容式位移传感器结合的在位测量装置。在C3604黄铜球面及非球面加工中，经补偿后球面与非球面的面形精度PV分别达231.4nm和206.3nm，且与离线测量结果偏差极小，验证了在位测量与补偿技术的可靠性，为解决超精密加工中离线测量的误差补偿滞后问题提供了新思路。