精密加工硬脆材料的常用方法
　　硬脆材料（如工程陶瓷、光学玻璃、蓝宝石、单晶硅、碳化硅、硬质合金等）因其高硬度、高脆性、耐磨耐腐蚀等优异性能，广泛应用于航空航天、半导体、光学、医疗器械等领域。但其加工难度大，易产生裂纹和崩边。常用的精密加工方法主要包括：
　　磨削：
　　原理：使用金刚石或CBN等高硬度磨粒的砂轮进行微量去除。
　　特点：应用最广泛，可达到较高的形状精度和表面光洁度。包括平面磨削、外圆磨削、内圆磨削、无心磨削等。
　　关键：需要高刚度机床、高精度主轴、合适的砂轮（粒度、结合剂、浓度）和冷却液（通常为水基，有时需添加剂）。常采用精密/超精密磨削技术。
　　研磨：
　　原理：工件与研磨盘（铸铁、锡、铜等软金属或复合材料）之间加入游离的磨料（金刚石、碳化硼、氧化铝等）和研磨液，在相对运动下进行微量去除和表面修整。
　　特点：主要用于获得高平面度、低表面粗糙度，或为抛光做准备。效率相对磨削较低。
　　形式：双面研磨、单面研磨。
　　抛光：
　　原理：使用更细的磨料（微米级或亚微米级，如金刚石、氧化铈、氧化铝悬浮液）和更软的抛光盘（沥青、聚氨酯、绒布等），通过机械、化学或化学机械作用去除极微量的材料，获得超光滑、无损伤表面。
　　特点：加工去除率最低，但能达到最高的表面光洁度和最低的表面/亚表面损伤。是获得光学表面的关键工序。
　　形式：机械抛光、化学机械抛光、磁流变抛光、离子束抛光等。
　　激光加工：
　　原理：利用高能量密度激光束照射材料，通过热效应（熔化、气化）或光化学效应（冷加工，如紫外激光）去除材料。
　　特点：非接触式加工，无刀具磨损，可加工复杂形状和微小结构（钻孔、切割、刻蚀、表面处理）。热影响区控制和裂纹抑制是关键挑战。超短脉冲激光（皮秒、飞秒）在减少热损伤方面优势显著。
　　应用：精密打孔、精密切割、微结构加工、表面织构化。
　　超声加工：
　　原理：工具头（通常为软金属）在超声频率下（>20kHz）高频振动，驱动工具头与工件之间的磨料悬浮液（碳化硼、金刚石等）冲击材料表面实现微量去除。
　　特点：特别适合加工高硬度、高脆性的绝缘材料，加工力小，不易产生裂纹和热影响区。可加工复杂形状孔和型腔。
　　应用：精密打孔（尤其异形孔）、型腔加工、雕刻。
　　电火花加工：
　　原理：利用工具电极和工件电极之间脉冲放电产生的瞬时高温蚀除材料。要求工件材料具有导电性。
　　特点：非接触式，加工力极小，可加工复杂形状和微小结构，不受材料硬度限制。
　　应用：主要用于加工导电的硬脆材料（如硬质合金、金属陶瓷、导电陶瓷）的模具、异形孔、微细结构。
　　注意：纯绝缘的硬脆材料（如氧化铝陶瓷、玻璃）不能直接用EDM加工，但可通过辅助电极法或导电化处理实现。
　　复合加工：
　　原理：结合两种或多种上述加工方法的优势，克服单一方法的局限性。
　　常见组合：
　　超声辅助磨削/研磨/抛光：利用超声振动提高材料去除率、降低加工力、减少砂轮堵塞、改善表面质量。
　　激光辅助加工：用激光局部软化材料，降低其硬度和脆性，再结合机械加工（如车削、磨削），提高加工效率和表面质量。
　　电解辅助加工：主要用于导电硬脆材料，结合电解作用和机械作用（如电解磨削）。
　　选择哪种方法取决于：
　　材料的具体种类和性质（硬度、脆性、导电性）
　　加工目标（形状精度、尺寸精度、表面粗糙度、表面完整性/亚表面损伤）
　　加工效率要求
　　成本考量
　　工件几何形状和尺寸
　　在实际生产中，往往需要多种方法组合使用（例如：粗磨->精磨->研磨->抛光）。